超大行程金相显微镜测量仪VMA1400U

      超大行程金相显微镜测量仪VMA1400U是具有电子数字成像与目视系统，兼具影像坐标测量与显微观察功能的测量型金相显微镜。该仪器广泛应用于半导体，FPD面板，电子组件，电路封装，电路基板，精密刀具，PCB加工等方面。不仅应用于长度、角度等二维测量，亦可用于ITO、ACF导电粒子形状和瑕疵观察。是机械、电子、科研院所及计量实验室不可或缺的计量检测设备之一。

超大行程全自动影像测量仪系列，可靠性高，将影像、白光、接触和三维扫描技术融合在一套系统中，一次装夹、一次设置快速完成各种特征测量。
· 灵活的光学镜头选择；电动变焦镜头、手动镜头、远心镜头；
· 多样化传感器，触发式接触测头，共聚焦白光CWS；
· 采用固定桥式，移动工作台结构；
· 三轴均为电机驱动，减小人为误差；
· 同轴光，透射光，多段表面环形光；
· 配置工业级黑白或彩色 CCD 相机；
· 配备3D-CNC VISION 软件；
· 精密滚珠丝杠、直线导轨；
· 移动桥式结构，高精度花岗石底座，立柱，保证机器的长期稳定性。

1) CCD影像:
对小、薄、软、精密的被测特征进行非接触测量避免形变。

2) CWS白光:
对柔软、反射或低对比度的表面进行亚微米精度级别的测量。

3) 接触式扫描:
对影像无法完成无法识别的三维特征进行单点触发和连续扫描测量。

大行程影像测量仪VMA1400U仪器参数

仪器型号 / 仪器参数		VMA1400U
测量行程(mm)		1000x1400x150
外形尺寸(mm)		2300x1650x1800
仪器重量(kg)		2650
承载重量(kg)		30
测量精度		X/Y≤(3.0+L/200)µm
		L为被测物长度，单位为mm
导轨		日本THK高精密直线导轨
光栅尺*		0.5µm光栅尺
控制方式		X/Y/Z三轴自动控制
图像传感器		高清晰、高分辨率彩色工业数字摄像机
光源	透射光	LED平行冷光源，256级亮度可调
	反射光	卤素灯/LED照明器可选
光学物镜**		手动物镜转换器：5X 10X 20X 50X 100X(倍率可选)
适用电源		100-240V(AC)   50/60Hz
工作环境		温度22±2℃   湿度30%-80%   振动<0.002g，低于15Hz

备注

* 标配为0.5µm光栅尺，可选配0.1µm光栅尺

** 可选配自动变倍物镜转换器